首先,x射线的波长并不比电子波长短,x射线衍射仪所用的x射线波长都是A量级,而电子波长可以到0.01A量级。第二,x射线不好聚焦,导致光斑很大,无法进行微区分析,而电子可以很好的控制使其光斑大小达到几个nm尺度。第三,穿透力强不总是优势,因为本质上我们要分析射线和物质的作用,并不是越能穿透物质越好。
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